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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제16권 제4호
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 198 - 200 (3page)
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The microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system was used to grow a carbon nanowall (CNW) on a silicon (Si) substrate with hydrogen (H2) and methane (CH4) gases. To find the growth mechanism of CNW, we increased the growth time of CNW from 5 to 30 min. The vertical and surficial conditions of the grown CNWs according to growth time were characterized by field emission scanning electron microscopy (FE-SEM). Energy dispersive spectroscopy (EDS) measurements showed that the CNWs consisted solely of carbon.
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H. W. Kroto / 1985 / C60: Buckminsterfullerene / Nature 318 (6042) : 162 ~ 163
K. S. Novoselov / 2004 / Electric Field Effect in Atomically Thin Carbon Films / Science 306 (5696) : 666 ~ 669
M. Hiramatsu / 2010 / Carbon Nanowalls / Springer
R. J. Hu / 2009 / Study of Plastic Scintillators for Fast Neutron Measurements and the Potential Application to Neutron Cameras / Journal of the Korean Physical Society 54 (2
Sasha Stankovich / 2006 / Graphene-based composite materials / Nature 442 (7100) : 282 ~ 286
K. S. Novoselov / 2004 / Electric Field Effect in Atomically Thin Carbon Films / Science 306 (5696) : 666 ~ 669
M. Hiramatsu / 2010 / Carbon Nanowalls / Springer
R. J. Hu / 2009 / Study of Plastic Scintillators for Fast Neutron Measurements and the Potential Application to Neutron Cameras / Journal of the Korean Physical Society 54 (2
Sasha Stankovich / 2006 / Graphene-based composite materials / Nature 442 (7100) : 282 ~ 286
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