투과형 전자현미경의 고니오미터형 시료 구동 스테이지의 설계

최기봉; 이상철

doi:10.7735/ksmte.2019.28.5.267

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 최기봉 (Korea Institute of Machinery and Materials) 이상철 (Korea Basic Science Institute)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.28 No.5

발행연도: 2019.10

수록면: 267 - 273 (7page)

DOI: 10.7735/ksmte.2019.28.5.267

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

In this study, a goniometer-type specimen stage for transmission electron microscopy is proposed. The specimen stage is mounted on the side of the vacuum chamber of a transmission electron microscope. A specimen is transported from the environment to the vacuum chamber via a holder, where positioning of the specimen is then conducted. The specimen stage comprises three translations and one rotational motion. As two translations are approximated linear motions, which are a part of the tilt motions, the term ‘goniometer’ is used. The actuation systems have been designed with consideration for the workspace and resolution. An air-locking device was also designed to separate the vacuum chamber from the atmosphere. Finally, the specimen stage was manufactured using aluminum and stainless steel to avoid the effect of a magnetic field. Experiments were then conducted to evaluate the performance of the proposed solution.

#Transmission electron microscopy #Goniometer. Specimen stage #Holder #Air-lock mechanism

참고문헌 (8)

참고문헌 신청

Goldstein, J. I. / 2018 / Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis / Springer

Flegler, S. L. / 1997 / Scanning and Transmission Electron Microscopy / W. H. Freeman and Company

Williams, D. B. / 2009 / Transmission Electron Microscopy / Springer

James Pulokas / 1999 / Improving the Positional Accuracy of the Goniometer on the Philips CM Series TEM / Journal of Structural Biology 128(3):250~256

O. Vingsbo / 1975 / A method of using the incident beam tilt as a eucentric goniometer in transmission electron microscopy / Ultramicroscopy 1(2):121~126

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최기봉

소속기관 와보텍

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5% 자연과학 > 물리학

논문수 144 이용수 9,329

이상철

소속기관 대구경북과학기술원

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학 TOP 5% 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 82 이용수 11,596

이 논문과 함께 이용한 논문

물리 치료용 비접촉식 레이저 장치 개발

송도선 , 정동규 Proceedings of KIIT Conference 2003 .08

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-003-001241338

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (8)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)