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저자정보
Jae-Soo Shin (Daejeon University) Je-Boem Song (Korea Research Institute of Standards and Science) Sin-Ho Choi (Daejeon University) Jin-Tae Kim (Korea Research Institute of Standards and Science) Seong-Geun Oh (Hanyang University) Ju-Young Yun (Korea Research Institute of Standards and Science)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.25 No.1
발행연도
2016.1
수록면
15 - 18 (4page)

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Study investigated the optimal anodizing conditions for fabricating an oxide film that produces less contamination in a corrosive plasma environment, using oxalic acid and tartaric acid. Oxide films were produced using sulfuric acid, oxalic acid, and tartaric acid electrolyte mixtures with various mole ratios. The oxide film made by adding 0.05M tartaric acid to 0.3M oxalic acid showed higher breakdown voltage and lower leakage current. Additionally, contamination particles were reduced during plasma etching, thus demonstrates that this mixture presented optimal conditions. However, higher tartaric acid content (0.1 M, 0.15 M) led to lower breakdown voltages and higher leakage currents. Also, it resulted in more cracking during thermal shock tests as well as the generation of more contamination particles during plasma processing.
#plasma corrosion #etching #particle monitoring #anodizing #anodic film #tartaric acid

목차

Abstract
I. Introduction
II. Experiment
III. Results and Discussion
IV. Conclusion
References

참고문헌 (13)

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A. Bautista, J. A. Gonzalez, and V. Lopez, Surf. Coat. Technol. 154, 49 (2002). google schola W. Bensalah, K. Elleuch, M. Feki, M. Wery, and H. F. Ayedi, Surf. Coat. Technol. 201, 7855 (2007). google schola H. H. Shih, and S. L. Tzou, Surf. Coat. Technol. 124, 278 (2000). google schola L. Domingues, J. C. S. Fernandes, M. D. C. Belo, M. G. S. Ferreira, and L.G. Rosa, Corros. Sci. 45, 149 (2003). google schola I. Tsangaraki-Kaplanoglou, S. Theohari, Th. Dimogerontakis, Y. M. Wang, H. H. Kuo, and S. Kia, Surf. Coat. Technol. 200, 2634 (2006). google schola

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