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한국진공학회(ASCT) Journal of Korean Vacuum Science & Technology Journal of Korean Vacuum Science & Technology Vol.6 No.3
발행연도
2002.9
수록면
109 - 115 (7page)

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This paper describes a CCM key comparison of low absolute-pressure standards at seven National Measurement Institutes that was carried out during the period March 1998 to September 1999 in order to determine their degrees of equivalence at pressures in the range 1 Pa to 1000 Pa. The Korea Research Institutes of Standards and Science(KRISS) participated from 10 Pa to 1000 Pa pressure range in 1999. The primary standards, which represent two principal measurement methods, included five liquid-column manometers and four static expansion systems. The transfer standard package consisted of four high-precision pressure transducers, two capacitance diaphragm gauges to provide high resolution at low pressures, and two resonant silicon gauges to provide the required calibration stability.

목차

Abstract

1. Introduction

2. Primary Standards

3. Transfer Standards

4. General Calibration Procedure

5. Reduction and Analysis of the Data

6. Conclusions

References

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