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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제2호
발행연도
2001.7
수록면
173 - 181 (9page)

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1,333 Pa 용량의 용량형진공계를 저진공 국가표준기인 초음파간섭 수은주압력계(ultrasonic interferometer manometer) 를 이용하여 교정하였다. 이 결과의 불확도를 국제표준화기구의 권고안의 A형 불확도, B형 불확도, 합성표준불확도, 확장불확도 등으로 구분하여 평가하였다. 표준압력 1.76 Pa～1.31×10³ Pa에서의 합성표준불확도는 1.38×10^(-2) Pa ~3.03×10^(-1) Pa이었으며, 상대불확도(합성표준불확도/표준압력)는 2.3×10^(-4)~7.9×10^(-3)이었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 저진공 국가표준기

3. 교정 방법

4. 불확도 계산

5. 결론

참고문헌

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