저진공에서 초고진공까지의 국가 진공표준

홍승수; 임인태; 신용현; 정광화

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자료유형: 학술저널

저자정보: 홍승수 임인태 신용현 정광화

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제1호

발행연도: 2006.1

수록면: 1 - 13 (13page)

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한국표준과학연구원 진공연구실은 1983년 설립된 이후 초음파간섭 수은주압력계, 정적형 표준기 및 동적교정장치 등을 개발하여 저진공에서 초고진공까지 국가 진공표준의 확립 및 보급을 하고 있다. 본 연구에서는 각각의 진공표준기, 국제표준화기구의 권고에 의한 불확도 분석방법, 그리고 핵심측정표준 국제비교 및 국가간 상호비교 결과를 소개한다.

#초음파간섭 수은주압력계 #정적법 #동적교정장치 #진공표준 #불확도 #국제비교 #Ultrasonic interferometer manometer #Static expansion method #Dynamic calibration system #Vacuum standards #Uncertainty #International comparison

국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 초음파간섭 수은주압력계 (Ultrasonic Interferometer Manometer, UIM)
Ⅲ. 정적형 (Static Expansion System, SES) 중진공 표준기
Ⅳ. 오리피스형 (orifice type) 고진공 및 초고진공 표준기
Ⅴ. 불확도 평가
Ⅵ. 표준기 국제 비교
Ⅶ. 결로
참고문헌
Abstract

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