Diamond - Like Carbon 박막의 광학적 특성에 관한 연구

권도현 ,  박성계 ,  남승의 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .07

PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착

조영옥 ,  조정민 ,  윤원주 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

PECVD 장비를 이용해 증착시킨 DLC 박막의 첨가원소(a-C:H:X)에 따른 기계적 특성

김준형 ,  문경일 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

PECVD 장비를 이용해 증착시킨 DLC 박막의 첨가원소(a-C:H:X)에 따른 고내식, 내열 특성

김준형 ,  문경일 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

PECVD를 이용한 2차원 이황화몰리브데넘 박막의 저온합성법 개발

김형우 ,  안치성 ,  Gi 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

이온빔 보조증착에 의한 DLC 박막의 특성

박형국 ,  정재인 ,  문종호 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

Ti-DLC 증착 방법에 따른 특성 비교

이나래 ,  박현준 ,  문경일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화

조영옥 ,  노옥환 ,  윤원주 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

The properties of diamond - like carbon(DLC) films prepared using ECR - PECVD and its dependence on deposition parameters

손영호 ,  박노길 ,  박형국 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

광학 박막의 이온 보조 증착

황보창권

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

Application of Taguchi Methodology for Optimization of Parameters of CVD Influencing Formation of a Desired Optical Band Gap of Carbon Film

Mish ,  a ,  D.K. 외 6명

Carbon science

2005 .01

Preparation and Characterization of DLC Films on Si - wafer using Organic Compounds by PECVD

Chun Min-Seung ,  Jong Gi Jee

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Optimization and Application of Si-DLC Coating with Low Friction and High Hardness Property by Using PECVD Method

여기호 ,  문종철 ,  신의철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

이온빔 증착에 의한 DLC 박막의 제조 및 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박영희 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

복층구조로 증착시킨 DLC 박막의 기계적 특성 분석

조윤혜 ,  최원석 ,  박용섭 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

ECR - PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12