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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제1호
발행연도
2000.2
수록면
24 - 29 (6page)

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AC-PDF 용 표면 보호막 물질인 MgO 박막을 rf magnetron sputtering법으로 제작하고 박막의 조성비 변화가 PDP소자의 방전전압특성에 미치는 영향을 조사하였다. 증착시 산소함량비[O₂/(Ar+O₂)]가 0에서 0.1까지 증가함에 따라 MgO 박막은 (111) 방향에서 (200)방향으로 그 우선성장 결정방향이 변하였다. [O₂/(Ar+O₂)]가 0.1에서 조성비가 잘 일치하는 박막을 얻을 수 있었고, 입자 크기가 증가하였으며 수산화기(hydroxyl groups)의 오염도가 최소화 되었다. 조성비가 잘 일치할 경우 PDP 소자에서 표면 보호막으로 사용 되었을 때 소자의 구동전압이 최소화 되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

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