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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제9권 제1호
발행연도
2000.2
수록면
69 - 75 (7page)

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초고접적소자의 층간절연막으로서의 polysilazane계 spin on glass (SOG)의 적용 가능성을 평가하였다. 상용화된 무기 SOG 계열의 polysilazane과 polysilazane에 산화제를 첨가하여 SiO₂로의 변환 능력을 향상 시킨 물질을 spin coating 하고 curing하여 SOG 막을 제조한 다음, 400℃에서 900℃까지의 온도범위에서 열처리하면서 SOG 막의 특성을 조사하여 산화제 및 열처리 온도의 효과를 조사하였고, line and space pattem에 SOG 막을 형성하여 gapfill 특성을 비교하였으며, SOG 막에 contact hole을 형성한 다음 습식 세정에 대한 저항성을 평가하였다. 산화제를 첨가함으로써 polysilazane polymer 구조에서 SiO₂로의 변환이 더욱 효과적으로 이루어져, 기존 SOG 막에 비해 밀도 및 습식세정 chemical에 대한 저항성이 우수하고 gapfill 특성은 동등한 수준인 SOG 막을 제조할 수 있었다. 특히, 기존의 SOG 막의 경우 좁은 gap space 내에서 curing이 충분하게 일어나지 않아 습식 세정시 hole profile이 나빠지는 문제를 산화제 첨가를 통해 해결할 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 토의

4. 결론

참고문헌

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