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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.7
- 수록면
- 395 - 403 (9page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2006
Measurement of work function for the MgO, MgAl₂O₄/MgO and MgAl₂O₄ Protective Layer in AC-PDPs
정강원
,
이해정
,
정원희
외 5명
한국진공학회 학술발표회초록집
2006.08
학술대회자료
Cu 기판위에 성장한 MgO, MgAl₂O₄와 MgAl₂O₄/MgO 박막의 집속이온빔을 이용한 스퍼터링수율 측정과 이차전자방출계수 측정
정강원
,
이혜정
,
정원희
외 5명
Applied Science and Convergence Technology
2006.07
학술저널
집속이온빔 장치를 이용한 MgO / MgAl₂ O₄ 다중박막의 스퍼터링 수율 측정과 이차전자 방출계수와의 관계
정강원
,
이해정
,
정원희
외 6명
한국진공학회 학술발표회초록집
2006.02
학술대회자료
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MgAl₂O₄ 막은 MgO 보호막 보다 단단하며 수분 흡착 오염문제에 상당히 강한 특성을 가진다. 본 연구에서 AC-PDP의 유전체보호막으로 사용되는 MgO 보호막의 특성을 개선하기 위해 MgAl₂O₄/MgO 이중층 보호막을 제작하여 특성을 조사하였다. 전자빔 증착기를 사용하여 Cu 기판에 MgO와 MgAl₂O₄을 각각 1000 Å 두께로 증착, MgAl₂O₄/MgO을 200/800 Å 두께로 적층 증착 후, 이온빔에 의한 충전현상을 제거하기 위해 Al을 1000 Å 두께로 증착하였다. 집속 이온빔(focused ion beam ; FIB)장치를 이용하여 10 ㎸에서 14 ㎸까지 이온빔 에너지에 따라 MgO는 0.364 ~ 0.449 값의 스퍼터링 수율에서 MgAl₂O₄/MgO을 적층함으로 24 ~ 30 % 낮아진 0.244 ~ 0.357 값의 스퍼터링 수율이 측정되었으며, MgAl₂O₄는 가장 낮은 0.088 ~ 0.109 값의 스퍼터링 수율이 측정되었다. g-집속이온빔(g-FIB)장치를 이용하여 Ne? 이온 에너지를 50 V에서 200 V까지 변화 시켜 MgAl₂O₄/MgO와 MgO는 0.09 ~ 0.12의 비슷한 이차전자방출 계수를 측정 하였다. AC-PDP셀의 72시간 열화실험 후 SEM 및 AFM으로 열화된 보호막의 표면을 관찰하여 기존의 단일 MgO 보호막과 MgAl₂O₄/MgO의 적층보호막의 열화특성을 살펴보았다.
목차
한국어 초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
영어 초록
참고문헌 (0)
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