투명 전도성 산화물 전극으로의 응용을 위한 산화아연(ZnO) 코팅막의 습식 식각 특성연구

유동근; 김명화; 정성훈; 부진효

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자료유형: 학술저널

저자정보: 유동근 김명화 정성훈 부진효

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제1호

발행연도: 2008.1

수록면: 73 - 79 (7page)

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투명 전도성 산화물 전극(transparent conductive oxide electrodes)에 적용하기 위하여 RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 유리 기판 위에 산화아연 박막을 증착하였다. 투명 전극으로써 응용되기 위한 최적의 조건으로 기판온도를 상온으로 유지하고 RF power 200 W, 타겟과 기판사이의 거리(Dts)가 30 ㎜일 때 증착된 산화아연 박막으로부터 가장 낮은 비 저항값(7.4×10?³ Ω㎝)을 얻어 낼 수 있었으며, 85% 이상의 높은 투과율을 만족하는 박막을 얻을 수 있었다. 실질적인 소자로써의 응용을 위해 photo lithography를 통한 pattern을 형성, 습식 식각을 통하여 그 특성을 알아보고자 하였다. 습식 식각에서 사용된 식각용액(etchant)으로는 다양한 산 용액(황산, 옥살산, 인산)을 사용하였으며, 산의 농도 변화에 따른 식각특성과 식각시간 및 식각 이미지(표면형상)의 변화를 알아보았다. 결과적으로 산화아연의 습식식각은 산의 종류와 무관하게 산 용액의 농도(즉, pH)에 크게 의존하며, pH가 증가함에 따라 식각율이 지수함수적으로 감소하고 아울러 다양한 식각 이미지가 나타남을 최초로 고찰할 수 있었다.

#산화아연(ZnO) 코팅막 #RF magnetron sputtering #습식 식각 #투명 전도성 산화물 전극 #ZnO thin film #Wet chemical etching #Transparent conductive oxide electrodes

참고문헌 (12)

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1. [기타자료] - B.G. Lewis / 2000 / MRS Bull

2. [학술지(정기간행물)] - H. Jeon / 2007 / J. Kor. Vac / Soc 16 (359)

3. [학술지(정기간행물)] - S. H. Jeong / 2004 / Curr. Appl / Phys 4 (655)

4. [기타자료] - R. G. Gordon / 2000 / MRS Bull

5. [학술지(정기간행물)] - X. Jiang / 2003 / Appl. Phys / Lett 83 (1875)

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소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

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부진효

소속기관 한국진공학회(ASCT)

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