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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김성수 김도윤 ((주)브이에스아이)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제3호
발행연도
2008.5
수록면
240 - 246 (7page)

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수십에서 수백 ㎛ 영역의 필름 두께 측정에 적용하기 위한 Ag-target 투과양극형 x-ray tube를 개발하고 특성을 조사하였다. 10㎸ 부근의 관전압에서 x-ray 에너지의 분포 및 선량특성을 조사하고 W-target tube와 비교하여 논의하였다. 또한 Ag-target tube와 W-target tube를 이용하여 Ny film과 PP film의 두께변화에 따른 x-ray의 투과 특성으로 조사하였고, 그 결과 개발된 x-ray tube는 필름두께 측정용으로 적용할 수 있을 만큼 충분히 좋은 특성을 나타내었다.

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 요약
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (5)

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