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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제2호
발행연도
2008.3
수록면
102 - 108 (7page)

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대향 타겟식 스퍼터링법 (Facing Targets Sputtering)을 이용하여 유리기판위에 증착한 Ag/ZnO 다층 박막의 특성을 연구하였다. Ag 박막의 높은 전도도와 투과율을 나타내는 공정조건을 찾기 위하여, 증착시간, 기판온도 변화에 따른 Ag박막의 특성을 살펴보았으며, ZnO 박막의 두께 변화에 따른 Ag/ZnO 다층박막의 특성을 살펴보았다, 10초간 증착한 Ag 박막은 연속된 막구조를 가지지 못하여, 30초간 증착된 막에 비해 전기적, 광학적 특성이 저하되는 것을 확인할 수 있었다. ZnO 박막의 AFM 측정 결과 박막의 거칠기(Rrms) 값의 변화에 따라 Ag/ZnO박막의 특성에 영향을 미쳤으며, 거칠지 않은 표면을 지닌 박막에서 Ag 박막 증착 시 좋은 특성을 나타냈다. 제작된 박막은 four point probe, UV/VIS spectrometer, AFM을 사용하여 전기적, 광학적, 구조적 특성을 조사하였다. 제작결과 Ag/ZnO 다층박막의 면저항은 9.25 [Ω/sq.]을 나타내었으며, 가시광영역에서 광투과율은 80%이상을 나타내었다.
#ZnO #Ag #Facing targets sputtering #Multilayer

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - S. H. Park / 2001 / Jpn. J. Appl / Phys 40 (1429) google schola 2. [기타자료] - E. Bertran / 2003 / C. Person and I. Porqueras Solid State Ionics, Vol. 165, Issues 1-4 139-148 google schola 3. [기타자료] - C. H. Yang / 2006 / Materials Science and Engineering: B, Vol. 134, Issue 1, 25 68-75 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - B. S. Kim / 2007 / J. Korean. Vac / Soc 16 : 105 ~ 109 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - A. Tiburcio-Silver / 1994 / J. Appl / Phys 76 (1992) google schola

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