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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김영환 (한국과학기술연구원) 김성일
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제5호
발행연도
2009.9
수록면
358 - 364 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

기판 온도의 영향에 따른 펄스레이저 증착법으로 성장된 ZnO 박막의 발광 특성
김영환 ,  김성일 Applied Science and Convergence Technology 2009.09 학술저널

2004

펄스레이저 증착법으로 성장된 ZnO / (0001)Al₂O₃ 박막의 광특성 및 기판온도의 영향
김영환 ,  김성일 ,  김용태 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.08 학술대회자료

초록· 키워드

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펄스레이저 증착법으로 박막의 결함 생성을 최소화하여 우수한 발광 특성을 가지는 ZnO 박막 성장에 대한 연구를 수행하였다. 이를 위하여 기판 온도를 400℃에서 850℃까지 변화시켜 박막을 증착한 후 엑스선 회절법, 원자힘 현미경, photoluminescence (PL) 등을 사용하여 박막의 특성 변화를 분석하였다. 그 결과 ZnO 박막은 기판 온도에 관계없이 (0001) 사파이어 기판에 c-축 배향성을 가지며 성장하였음을 확인하였고 기판온도 600℃에서 가장 조밀한 박막이 형성되면서 박막에 응력이 거의 걸리지 않고 결정성도 우수함을 확인하였다. PL 분석 결과 역시 600℃에서 증착된 ZnO 박막이 UV 발광 피크의 반치폭 및 결함에 의한 가시영역에서의 발광 등을 고려했을 때 가장 뛰어난 특성을 보여주었다. 이와 같은 결과는 ZnO 박막의 발광 특성이 박막의 구조적 특성과 매우 밀접한 관계가 있음을 나타내며 또한 기판 온도가 매우 중요한 역할을 함을 나타낸다. 결론적으로 기판 온도 600℃에서 우수한 UV 발광 특성을 가지면서 결함에 의한 가시영역 발광이 거의 나타나지 않는 ZnO 박막을 성장시킬 수 있었고 이러한 박막은 UV 광소자에 응용될 수 있을 것으로 생각된다.
#ZnO 박막 #펄스레이저 증착법 #기판 온도 #c-축 배향성 #Photoluminescence #ZnO thin film #Pulsed laser deposition #Substrate temperature #C-axis texturing

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (16)

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1. [학술지(정기간행물)] - D. C. Look / 2001 / / Mater. Sci. Eng. B 80 : 383 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - C. M. Wang / 2008 / / J. Mater. Res 23 : 13 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - I. Repins / 2008 / / Prog Photovolt: Res. Appl 16 : 235 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Z. Wang / 2003 / / Nanotechnol 14 : 11 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - P. Yang / 2002 / / Adv. Funct. Mater 12 : 323 ~ google schola

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