Pulsed Laser Deposition 증착조건에 따른 ZnO박막의 결함구조분석

송후영; 김재훈; 김은규

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 송후영 (한양대학교) 김재훈 (한양대학교) 김은규 (한양대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2008.2

수록면: 274 - 274 (1page)

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