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Byeong Hwa Jeong (ULVAC KOREA) Min-Soo Kim (ULVAC KOREA) Dong Shin Kim (ULVAC KOREA) Sang Ho Lee (ULVAC KOREA) Geun Young Yeom (Sungkyunkwan University)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제58회 동계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.2
수록면
155 - 155 (1page)

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