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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제27권 제2호
발행연도
2020.1
수록면
45 - 51 (7page)

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미래의 유연 전자 기기는 고온, 고습 환경 조건에서 사용될 수 있으며 반복적으로 굽히고 펴기를 반복하기 때문에 장기 신뢰성 확보를 위해서는 환경 조건과 반복 기계적 변형의 효과를 동시에 고려해야 한다. 본 연구에서는 전자기기에서 가장 일반적으로 사용되는 Al, Ag, Cu 전극을 유연 기판상에 진공 증착한 뒤 환경적인 요건을 상온/일반습도와 85oC/85% 습도두 가지로 조건에서, 기계적 변형이 없는 평평한 상태와 반복적으로 굽힘 변형을 가해주는 조건의 총4가지 환경 및 피로 복합 실험을 실시하였다. Al, Ag, Cu 전극 모두 기계적 변형이 없는 평평한 경우에 일반 환경 조건및 고온/고습 조건 모두 10시간 동안 전기 저항 변화가 발생하지 않았다. 일반 환경 조건에서 굽힘 피로 실험을 진행한경우, Al, Ag, Cu 전극 모두 금속의 피로 파괴 현상에 의해 10만 싸이클 이후 전기 저항이 약 400%~600% 증가하였다. 고온/고습에서 피로 실험의 경우, Al, Ag 전극은 일반 조건 피로 실험과 결과가 유사하였으나, Cu의경우 고온/고습 피로실험의 경우 10만 싸이클 이후 전기 저항이 90000% 이상 증가하였다. 이는 부식과 기계적 피로가 동시에 발생할 경우금속 전극에 매우 심각한 신뢰성 문제를 유발한다는 것을 의미하며, 환경 조건과 기계적 변형을 동시에 고려한 전극 소재 디자인이 필요하다는 것을 의미한다.

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참고문헌 (16)

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A. Schindler / 2007 / Solution-deposited carbon nanotube layers for flexible display applications / Physica E: Low-Dimensional Systems and Nanostructures 37(1-2):119 google schola K. J. Allen / 2005 / Reel to real: Prospects for flexible displays / Proc. IEEE 93(8):1394 google schola B. J. Kim / 2014 / Effect of film thickness on the stretchability and fatigue resistance of Cu films on polymer substrates / Journal of Materials Research 29:2827 google schola B. J. Kim / 2016 / Effect of cyclic outer and inner bending on the fatigue behavior of a multi-layer metal film on a polymer substrate / Japanese Journal of Applied Physics 55:06JF01 google schola 설재근 / 2018 / 유연 기판상 ITO 박막의 롤링변형에 따른 신뢰성 연구 / 마이크로전자 및 패키징학회지 25(1):29~33 dbpia

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