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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제27권 제2호
발행연도
2020.1
수록면
11 - 17 (7page)

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본 연구에서는 Ag 금속입자가 기능화된 SnO2 나노선을 제작 및 저온 NO2 가스 센싱 특성을 평가하였다. Vapor–liquid–solid 공법을 이용하여 SnO2 나노선을 합성하였고, flame chemical vapour deposition 공법을 이용하여 Ag 금속입자를 SnO2나노선표면에기능화하였다. 합성된 Ag 금속입자가기능화된 SnO2나노선을이용하여 50oC에서 NO2 10 ppm에대한 가스 센싱 테스트를 진행한 결과, 감응도(Rg/Ra) 1.252를얻었다. 본연구를 통하여, 금속입자가 기능화된나노선을 이용한 저온동작 반도체식 가스센서의 산업 적용을 현실화 할 수 있을 것으로 기대된다.

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S. G. Chatterjee / 2015 / Graphene–metal oxide nanohybrids for toxic gas sensor: A review / Sens. Actuators B-Chem 221:1170 google schola N. Yamazoe / 2005 / Toward innovations of gas sensor technology / Sens. Actuators B-Chem 108:2 google schola S. Mahajan / 2020 / Metal-oxide semiconductors for carbon monoxide (CO) gas sensing: A review / Appl. Mater. Today 18:100483 google schola A. Dey / 2018 / Semiconductor metal oxide gas sensors: A review / Mater. Sci. Eng., B 229:206 google schola R. S. E. Shamy / 2020 / Mid infrared optical gas sensor using plasmonic Mach-Zehnder interferometer / Sci. Rep 10:1293 google schola

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