레이저 유기 충격파 클리닝 공정에서 펄스 에너지에 따른 영향

김태훈 ,  김도훈 ,  이종명 외 2명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2002 .01

Laser 충격파를 이용한 실리콘웨이퍼 표면에서의 미세 오염입자 제거

강영재 ,  이상호 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

레이저 충격파 클리닝 공정에서 분위기 가스의 영향

김태훈 ,  김도훈 ,  이종명 외 4명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

레이저 유기 충격파를 이용한 웨이퍼 표면 미소입자 제거

이종명 ,  조성호

한국레이저가공학회지

2002 .01

에폭시 도장면의 레이저 클리닝 시 공정 변수에 따른 제거 효율에 관한 연구(II) - 에너지 밀도에 따른 영향 -

김종도 ,  김지언 ,  송무근 외 2명

대한기계학회 논문집 A권

2020 .03

CW 레이저 조사에 의한 실리콘 웨이퍼의 손상 평가

최성호 ,  김정석 ,  장경영 외 1명

대한기계학회 논문집 A권

2012 .10

레이저 충격파 클리닝 공정에서 음향 모니터링에 관한 연구

김태훈 ,  이종명 ,  조성호 외 1명

한국레이저가공학회지

2003 .01

실리콘 웨이퍼 표면에서 나노 입자의 거동

이종명 ,  김태훈 ,  조성호 외 3명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

태양광 실리콘 웨이퍼 세정제 개발

배수정 ,  이호열 ,  이종기 외 2명

청정기술

2012 .03

웨이퍼 클리닝 장비의 웨이퍼 장착 위치 인식 시스템

이정우 ,  이병국 ,  이준재

멀티미디어학회논문지

2010 .03

레이저 충격파 클리닝에서 발생되는 유동장의 실험적 해석

임현규 ,  장덕석 ,  김동식

한국레이저가공학회지

2004 .01

레이저 충격파 클리닝 공정에서 충격파 속도 측정 및 가시화

임현규 ,  김동식 ,  이종명

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2003 .01

에폭시 도장면의 레이저 클리닝 시 공정 변수에 따른 제거 효율에 관한 연구(I) - 레이저 빔의 중첩률에 따른 영향 -

김종도 ,  김지언 ,  송무근 외 2명

대한기계학회 논문집 A권

2020 .03

적외선 레이저의 간섭현상을 이용한 실리콘 웨이퍼의 온도 측정 ( Monitoring of Silicon Wafer Temperature by IR Laser Interferometry )

김재성 ,  이석현 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

적외선 레이저의 간섭현상을 이용한 실리콘 웨이퍼의 온도 측정 ( Monitoring of Silicon Wafer Temperature by IR Laser Interferometry )

김재성 ,  이석현 ,  황기웅

전자공학회논문지-A

1994 .02

액막 보조 레이저 충격파 세정 공정

장덕석 ,  김동식

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

2004 .01

용접 전처리를 위한 레이저 클리닝 기술

정동채 ,  정권근 ,  김용 외 1명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

2010 .11

Temperature Measurement of Silicon Wafers Using Phase Estimation of Acoustic Wave

姜俊赫 ,  李錫垣

전기학회논문지 C

2003 .11

엑사이머 레이저를 이용한 실리콘웨이퍼의 미세가공

윤경구 ,  이성국 ,  김재구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1997 .05

실리콘 웨이퍼 연삭가공 특성 평가에 관한 연구

이상직 ,  정해도 ,  이은상 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

1999 .05