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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
강영재 (한양대학교, 금속재료공학과) 이상호 (한양대학교, 금속재료공학과) 박진구 (한양대학교, 금속재료공학과) 이종명 ([주]아이엠티, 레이저응용그룹)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
발행연도
2002.1
수록면
77 - 77 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2003

오염 입자 상태에 따른 레이저 충격파 클리닝 특성 고찰
강영재 ,  이종명 ,  이상호 외 2명 한국레이저가공학회지 2003.01 학술저널
Laser 충격파 세정에서 플라즈마 생성 위치에 따른 오염 입자 제거 효과
강영재 ,  이상호 ,  박진구 외 2명 한국재료학회 학술발표대회 2003.01 학술대회자료

2002

Laser 충격파를 이용한 실리콘웨이퍼 표면에서의 미세 오염입자 제거
강영재 ,  이상호 ,  박진구 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료

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