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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
이강원 (한국생산기술연구원) 윤의중 (호서대학교) 김철호 (한국생산기술연구원) 이석태 (한국생산기술연구원) 김윤수 (아시아초음파)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
발행연도
2005.1
수록면
184 - 187 (4page)

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In this paper, the transducer instead of mechanical dynamic structure was used to generate ultrasonic wave and the horn-shape amplifier was utilized to solve the energy decaying problem of ultrasonic wave with propagating it through the media. The analyses of ultrasonic wave and a fluid for the selected structure of a cleaning head were carried out Based on simulator results, the distance between a horn and the substrate of 4 mm and the horn diameter of 10 mm were determined to maximize the energy of ultrasonic waves. The cool ins structure was also considered to reduce the heat from the transducer and the horn.

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