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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
황영규 (성균관대학교 기계공학부) 권명근 (성균관대학교 대학원 기계설계학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회
발행연도
2006.1
수록면
202 - 205 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (13)

2006

분자 드래그 회전자 형상에 따른 복합분자펌프의 배기성능에 관한 실험적 연구
황영규 ,  권명근 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

2002

다단 원판형 드래그펌프의 배기 성능에 관한 실험적 연구
황영규 ,  허중식 ,  권명근 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.02 학술대회자료

2001

3단 원판형 드래그펌프의 배기 성능에 관한 실험적 연구
황영규 ,  허중식 ,  권명근 외 1명 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2001.12 학술대회자료
2단 원판형 드래그펌프의 배기 성능에 관한 실험적 연구 ( An Experimental Study on the Pumping Performance of the Two-Stage Disk-Type Drag Pump )
황영규 ,  허중식 ,  권명근 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2001.01 학술대회자료
원판형 드래그펌프의 성능특성에 관한 연구 ( A Study on the Performance Characteristics of a Disk-type Drag Pump )
황영규 ,  허중식 대한기계학회 춘추학술대회 2001.01 학술대회자료

2000

다단 원판형 드래그펌프의 배기특성에 관한 실험적 연구
황영규 ,  허중식 ,  권명근 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2000.11 학술대회자료
원판형 드래그펌프의 배기특성에 관한 연구 ( A Study on the Pumping Performance of a Disk-type Drag Pump )
황영규 ,  허중식 ,  최욱진 대한기계학회 논문집 B권 2000.06 학술저널
터보형 드래그펌프의 배기특성에 관한 실험적 연구 (An Expreimental Study on the Pumping Perfomance of Various Turbo-Type Drag Pumps )
황영규 ,  허중식 ,  최욱진 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2000.01 학술대회자료

1999

원판형 드래그펌프의 배기특성에 관한 연구
황영규 ,  허중식 ,  최욱진 대한설비공학회 학술발표대회논문집 1999.11 학술대회자료
원판형 드래그펌프의 배기특성에 관한 연구 ( A Study on the Pumping Performance of a Disk-type Drag Pump )
황영규 ,  허중식 ,  최욱진 대한기계학회 춘추학술대회 1999.01 학술대회자료
분자천이영역에서 헬리컬 드래그펌프의 배기특성 ( Pumping Characteristics of a Helical Drag Pump in the Molecular Transition Region )
황영규 ,  허중식 ,  우남섭 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 1999.01 학술대회자료

1998

헬리컬 드래그펌프의 배기특성에 관한 연구 ( A Study on the Pumping Performance of a Helical Drag Pump )
황영규 ,  허중식 ,  우남섭 대한기계학회 춘추학술대회 1998.01 학술대회자료

1996

천이영역에서 터보분자펌프의 성능해석
황영규 ,  허중식 대한설비공학회 학술발표대회논문집 1996.11 학술대회자료

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Recently, high vacuum pumps are widely used in the semi-conduction and liquid-crystal display ( LCD ) process. The composite-type high vacuum pumps are widely used in the various processes. In this study, the pumping performance of composite-type molecular pumps has been investigated experimentally. The experimented pumps are a compound molecular pump ( CMP ) and hybrid molecular pump ( HMP ). The CMP consists with helical-type drag pump, at lower part, and with turbomolecular pump ( TMP ), at upper part. The HMP consists with disk-type drag pump, at lower part, and with TMP, at upper part. The experiments are performed in the outlet pressure of $0.2\;{\sim}\;533\;Pa$. We have measured the ultimate pressure, compression ratio, and pumping speed

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