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학술대회자료
저자정보
Li, Zhao-Hui (Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University) Ahn, Min-Hyung (Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University) Choi, Kyung-Min (Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University) Im, Seung-Hyeok (Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University) Jung, Kyung-Seo (Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University) Cho, Eou-Sik (Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University) Kwon, Sang-Jik (Depart. of Electronics Engineering, Kyungwon University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
발행연도
2009.1
수록면
1,496 - 1,499 (4page)

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A diode-pumped Nd:$YVO_4$ laser was used to obtain indium tin oxide (ITO) patterns on glass substrate with various overlapping rates. The results showed that the overlapping rate of laser beam influences on the edge structure of ITO pattern and the surface roughness of ablated groove bottom. At a laser repetition rate of 40 kHz, the optimized condition of overlapping rate was 75 %.
#laser direct patterning #Nd:$YVO_4$ laser #indium tin oxide #ITO) #overlapping

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