TaO 고유전박막의 미세조직과 열적안정성

민석홍 ,  정병길 ,  최재호 외 5명

한국재료학회지

2002 .01

통계적 실험 방법에 의한 Ta 및 TaN 박막의 증착 특성

서유석 ,  박대규 ,  이상협 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Ta/TaN 복합 다층 피막의 기계적 특성

강영권 ,  이종무 ,  최상욱

한국재료학회지

1999 .01

DRAM 커패시터용 $Ta_2O_5$ 박막의 전기적 특성에 미치는 전극의존성

김영욱 ,  권기원 ,  하정민 외 3명

한국재료학회지

1991 .01

고유전체 전극물질로서의 TeN 응용가능성 연구

김영순 ,  이태호 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

B-TA 기술

이창범

한국통신학회 워크샵

1995 .01

B-TA 기술 개발

전경표

한국통신학회 워크샵

1996 .01

Al₂O₃ 기판 위에 제작된 Ta/Ta₂O₅/Ta 박막 커패시터의 전기적 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Al2O3 기판위에 형성된 Ti-O 완충층을 가진 Ta/Ta2O5/Ta 커패시터의 특성

김현주 ,  송재성 ,  김인성 외 1명

전기전자재료학회논문지

2003 .01

VLF tanδ의 판정기준에 대한 통계적 분석

이건호 ,  임장섭 ,  김태완 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

고온 공정에서 Ta2O5 절연막의 TiN의 반응성 조사

백용구 ,  은용석 ,  박영진 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Film Properties of Amorphous TaN and Ta - ( Si ) - N Deposited from Remote Plasma MOCVD

한창희 ,  노경봉 ,  백수현 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

TiN 및 ZrN 코팅된 Ti-Ta 합금의 표면 특성

김선욱 ,  최한철 ,  고영무

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)

이종무 ,  권난영 ,  손재현 외 1명

한국재료학회지

1993 .01

Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구

김광석 ,  김범석 ,  이상율

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

B-TA 기술 및 개발현황

전경표 ,  이창범 ,  김상중

한국통신학회지(정보와통신)

1995 .04

TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조

박기철 ,  김기범

한국재료학회지

1995 .01

디지털 지형 모델 분석을 위한 효과적인 TIN의 속성

정성훈 ,  김시완 ,  최미나 외 1명

한국정보과학회 학술발표논문집

2002 .04

유도 결합 플라즈마를 이용한 TaN 박막의 건식 식각 특성

진려 ,  주영희 ,  우종창 외 3명

전기전자재료학회논문지

2013 .01

TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(II) : Cu/TiN/Si 구조

박기철 ,  김기범

한국재료학회지

1995 .01