플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착

T.Y Eom ,  S.J. Pa ,  k 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2014 .11

SiHCl 와 O을 이용한 원자층 증착법에 의해 제조된 실리콘 산화막의 특성

이원준 ,  이주현 ,  한창희 외 3명

한국재료학회지

2004 .01

원자층 증착 방법에 의한 silicon oxide 박막 특성에 관한 연구

이주현 ,  박종욱 ,  한창희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )

정윤권 ,  정문식 ,  김흥락 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .08

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposited Silicon Oxide Gas Barrier Coatings on Polymeric Substrate Films

Choudhu ,  y Moinul Haque ,  김원호 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

화학기상증착법으로 성장시킨 산화티타늄 박막의 특성

정순원 ,  조민재 ,  김광호

대한전기학회 학술대회 논문집

2019 .07

Surface passivation of $BaMgAl_{10}O_{17}:Eu^{2+}$ coated with Silicon oxide by catalyzed atomic layer deposition

정영규 ,  김혁종 ,  김희규 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

Optimization of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposited SiO₂ film as an Etch Stop Layer for Oxide Semiconductor Thin-Film Transistors

Sung Haeng Cho ,  Min Ki Ryu ,  Chi-Sun Hwang 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

HF Gas에 의한 Silicon Oxide층의 건식식각

김동석 ,  이상철 ,  최상대 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

대기압 플라즈마를 이용하여 증착된 SiO₂ 무기 박막의 특성

길엘리 ,  박재범 ,  오종식 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .05

플라즈마 화학증착한 aluminum oxide의 reactive ion etching 특성

김형석 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Effects of N₂addition on chemical etching of silicon nitride layers in F₂/Ar/N₂remote plasma processing

S. M. Pa ,  k ,  H. W. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

실리콘窒化膜의 氣相成長과 그 電氣的 特性

成英權 ,  閔南基 ,  金承培

전기의세계

1979 .09

Thermal Analysis of a Silicon Wafer during Plasma Etching

Y. A. Lin ,  Chin Pan

Heat Transfer Conference

1998 .08

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

김현호 ,  김흥회 ,  국일현 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Co-sputtering 방법으로 증착된 실리콘 산화아연 박막의 특성 분석

차경웅 ,  이상혁 ,  김원 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2013 .07

Low Temperature Atomic Layer Deposition of Silicon Oxide Films Using Silicon Amide Precursors

Sung-Joo Woo ,  Han-Gyul Lee ,  Luchana L. Yusup 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과

장태웅 ,  이화성 ,  백종태 외 1명

한국재료학회지

1998 .01