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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제6회 학술발표회논문개요집
발행연도
1994.2
수록면
134 - 135 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1995

원거리 플라즈마 화학증착법으로 증착된 이산화규소박막의 물성
박영배 ,  강진규 ,  이시우 한국재료학회지 1995.01 학술저널

1994

원거리 플라즈마 화학증착법에 의한 저온 이산화규소 박막의 증착에서 기상반응의 영향
박영배 ,  이시우 ,  임인곤 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1994.02 학술대회자료

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목차

1. 서론

2. 실험 및 분석

3. 결과 및 고찰

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김시훈 ,  권예필 ,  서동현 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2020 .12

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