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학술대회자료
저자정보
김양수 (성균관대학교) 이준희 (성균관대학교) Thuy. T. T. Pham (성균관대학교) 임종태 (성균관대학교) 염근영 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.2
수록면
179 - 179 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

Remote방식의 대기압 플라즈마 장치를 이용한 SiO₂ 박막 증착 및 특성 연구
김양수 ,  이준희 ,  염근영 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
김양수 ,  이준희 ,  Thuy. T. T. Pham 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

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