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이용수
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
유도 결합 플라즈마 화학 기상 증착법에 의해 제조된 carbon nitride 박막의 기판 rf bias 효과에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
원거리 플라즈마 화학증착법에 의한 저온 이산화규소 박막의 증착에서 기상반응의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
PECVD로 증착된 Silicon Nitride 박막의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
상압 플라즈마를 이용한 carbon film 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
화학증착 및 원자층화학증착 표면화학 : 박막증착 관련 화학전구체의 Si(100), GaSb(100) 표면반응 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Flexible FPD의 확산방지막으로 적용키 위한 상압 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 SiO₂ 박막 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
원거리 플라즈마 화학증착에 의한 저온 규소 박막의 결정성
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
전자빔 증착법에 의해 증착된 MgO - SrO - CaO 박막의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
복층구조로 증착시킨 DLC 박막의 기계적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
최근의 투명 박막증착기술의 동향
포장계
1999 .01
증착조건에 따른 인듐 위에 증착된 hexamethyldisiloxane 박막의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
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