화학증착 및 원자층화학증착 표면화학 : 박막증착 관련 화학전구체의 Si(100), GaSb(100) 표면반응 연구

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저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제22회 학술발표회초록집

발행연도: 2002.2

수록면: 76 - 76 (1page)

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