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화학증착 및 원자층화학증착 표면화학 : 박막증착 관련 화학전구체의 Si(100), GaSb(100) 표면반응 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
다이아몬드 미세 휘스커의 전계 방출
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
R&D용 원자층 증착기술 및 증착장비(ALD) 소개
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
증착조건에 따른 인듐 위에 증착된 hexamethyldisiloxane 박막의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
고속 증착에 의한 알루미나 기판에의 구리 후막제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
전기화학증착법으로 성장된 n-ZnO 나노구조/p-Si 기판의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
원거리 플라즈마 화학증착법(RPECVD)에 의해 증착한 Carbon Nitride 박막의 구조적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
Ion Beam Sputter 증착조건에 따른 구조적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
태양전지 적용을 위한 PECVD 실리콘 질화막 증착 및 증착온도 가변에 따른 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
Pt(110) - (2x1) 표면에 증착된 C60의 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
전기화학증착법에 의해 성장된 GaN 나노구조의 구조적 및 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
전자빔 증착법에 의해 증착된 MgO - SrO - CaO 박막의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 증착특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
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