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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이태곤 (한양대학교 재료공학과) 김영호 (한양대학교 재료공학과) 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과) 권오경 (한양대학교 전자공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제6권 제6호
발행연도
1996.1
수록면
610 - 617 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1996

강유전체의 하부전극용 Pt/Ti 박막의 필 접착력에 미치는 열처리의 영향
이태곤 ,  김영호 ,  최덕균 외 1명 한국재료학회지 1996.01 학술저널

1995

열처리후 Pt/Ti bilayer 의 접착력 감소
이태곤 ,  김영호 ,  최덕균 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 1995.01 학술대회자료

초록· 키워드

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강유전체 재료의 하부전극으로 사용되고 있는 Pt/Ti 박막의 접착력에 대한 열처리 분위기의 영향을 연구하였다. 시편의 접착력은 90$^{\circ}$ 필 테스트 방법을 사용하여 정량적으로 측정하였다. 열처리 후 사용된 분이기에 관계없이 모두 접착력이 감소하였는데 특히 산소분위기에서 열처리 한 시편의 접착력이 매우 크게 감소하였다. AES depth profile과 단면 TEM을 이용하여 계면반응을 관찰한 결과 산소열처리시에는 Ti가 외부에서 확산해 온 산소와 반응하여 rutile TiO2상이 형성됨을 알 수 있었다. 그러므로 산소열처리 후에 일어나는 접착력의 급격한 감소 원인은 열처리시 취약한 TiO2상이 형성되며 이로 인해 Ti 접착층이 고갈되기 때문임을 알 수 있었다.

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