RF Sputtering 방법을 이용한 ZnO 투명전극의 특성

이정철 ,  김석기 ,  윤경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

플라스틱 기판에 증착한 ZnO:Al 박막의 특성에 미치는 스퍼터 압력 효과

이재형

전기전자재료학회논문지

2009 .01

RF Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리 특성 ( The Annealing Characteristics of ZnO thin Film Prepared by RF-Sputtering )

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

RF-Sputtering으로 제작된 ZnO 박막의 열처리특성

서진호 ,  이덕동 ,  이종현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1984 .11

Undoped ZnO 박막에 Ampoule-tube 방법을 이용한 P와 As의 확산과 p형 ZnO 박막의 전기적 특성

소순진 ,  박춘배 ,  왕민성

전기전자재료학회논문지

2005 .01

Effect of Sputtering Parameters on The Luminescent Properties of ZnO:Er Thin Film Prepared by RF Magnetron Sputtering

송현돈 ,  김영진

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

ZnO 스퍼터링에서 기판전압의 변화에 의한 성장 조절

최재원 ,  전원진 ,  조중열

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

R.F. sputtering으로 제조된 ZnO박막의 응력거동에 미치는 Annealing의 영향

류상 ,  김영만

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

RF Magnetron Sputter로 증착한 ZnO 압전변환기의 구조 및 음향특성에 관한 연구

이종덕 ,  고상춘 ,  송준태

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

고주파 스퍼터링법으로 증착한 ZnO 박막의 응력 형성과 박막 특성에 미치는 영향

곽상현 ,  이재빈 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF스퍼터링법으로 제작한 ZnO박막의 특성평가

정세민 ,  정광천 ,  최유신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

In-situ 분위기 Annealing에 따른 ZnO/Sapphire(0001) 박막의구조적 특성 분석

유인성 ,  왕민성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

SAW 대역 통과 필터용 ZnO 박막의 특성 개선 연구

이승환 ,  강광용 ,  유윤식

한국전자파학회논문지

2014 .12

N-doped ZnO 박막의 미세 구조 특성

이은주 ,  Rui ,  ui Zhang 외 2명

한국정보통신학회논문지

2009 .11

RF-Sputtering 법을 이용한 ZnO:Al 박막의 후 열처리에 따른 특성 변화

이재형 ,  이동진

전기전자재료학회논문지

2008 .01

ZnO 및 ZnO:Fe 박막의 전기적 광학적 특성

崔聖休 ,  金亨坤

전기학회논문지

1989 .05

태양전지 응용을 위한 PC 기판상의 ZnO:Al 박막 특성에 관한 연구

나영일 ,  이재형 ,  임동건 외 1명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

기판의 결정구조에 따른 RF 스퍼터링 ZnO 박막의성장과 미세구조 분석

소순진 ,  유인성 ,  박춘배

전기전자재료학회논문지

2006 .01

유도결합형 플라즈마를 사용한 반응성 마그네트론 스퍼터링에 의한 ZnO 박막 증착 및 특성분석

김동선

반도체디스플레이기술학회지

2011 .01