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자료유형
학술저널
저자정보
박봉모 (LG실트론, 단결정기술팀) 서경호 (LG실트론, 단결정기술팀) 김건 (LG실트론, 단결정기술팀)
저널정보
한국결정학회 한국결정학회지 한국결정학회지 제11권 제4호
발행연도
2000.1
수록면
200 - 206 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (7)

2003

고속 인상 초크랄스키 실리콘 단결정에서 성장 결함 분포
박봉모 ,  서경호 ,  오현정 외 2명 한국결정학회지 2003.01 학술저널

2001

초크랄스키 실리콘 단결정에서 질소 첨가가 성장 결함 형성에 미치는 영향
박봉모 ,  최일수 ,  이홍우 외 2명 한국결정학회 학술연구발표회 2001.01 학술대회자료

2000

초크랄스키 실리콘 단결정에서 성장 쌍정과 결정 외형의 관계
박봉모 한국결정학회지 2000.01 학술저널
초크랄스키 실리콘 단결정에서 인상 속도의 거시적 변동이 성장 결함 형성에 미치는 영향
박봉모 ,  서경호 ,  김건 한국결정학회지 2000.01 학술저널
초크랄스키 실리콘 단결정에서 인상 속도의 거시적 변동이 OSF-링 형성에 미치는 영향
박봉모 ,  서경호 ,  김건 한국결정학회지 2000.01 학술저널
Cz-Si에서 결정 인상 속도 변동의 효과 (2) - 성장 계면에서의 점결함 거동 -
박봉모 ,  최일수 한국결정학회 학술연구발표회 2000.01 학술대회자료
Cz-Si에서 결정 인상 속도 변동의 효과 (1) - 성장 결함의 형성 거동 -
박봉모 ,  서경호 ,  김건 한국결정학회 학술연구발표회 2000.01 학술대회자료

초록· 키워드

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In a 200 mm Cz-Si crystal, a macroscopic fluctuation in pulling rate was intentionally introduced then the variations of the pulling rate and the formation behaviors of grow-in defects were compared. The diameters of the OSF-ring and the FPD area were affected by the fluctuation in the region above 1100℃. The COP density depended on the diameter of the OSF-ring. ΔOi and BMD were affected by the fluctuation in the region near 1000Δ. As the result, when a macroscopic fluctuation in pulling rate is introduced, the quality of crystal in the region of 150 mm from the growth interface should be reviewed carefully because it can be affected by the fluctuation.

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