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저자정보
Koo, Hong-Mo (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Kim, Se-Hyun (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Moon, Yeon-Keon (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Park, Jong-Wang (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Jeong, Chang-Ho (LCD R&D Center, Samsung Electronics Co., Ltd.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
발행연도
2005.1
수록면
1,546 - 1,549 (4page)

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Al-doped ZnO (ZnO:Al) thin films were grown on corning 1737 glass substrates by dc magnetron sputtering. The structural, electrical and optical properties of the films were investigated as a function of various discharge power. The obtained films were polycrystalline with a hexagonal wurtzite structure and preferentially oriented in the (002) crystallographic direction. The lowest resistivity is $6.0{\times}10^{-4}$ Ocm with the carrier concentration of $2.694{\times}10^{20}$ $cm^{-3}$ and Hall mobility of $20.426cm^2/Vs$. The average transmittance in the visible range was above 90%.

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