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저자정보
Yoon, Seung-Il (Department of Information and Nano Materials Engineering, Kumoh National Institute of Technology) Heo, Sung-Taek (Department of Information and Nano Materials Engineering, Kumoh National Institute of Technology) Kim, Sam-Soo (Department of Information and Nano Materials Engineering, Kumoh National Institute of Technology) Lee, Yang-Kyu (Department of Information and Nano Materials Engineering, Kumoh National Institute of Technology) Lee, Dong-Gu (Department of Information and Nano Materials Engineering, Kumoh National Institute of Technology)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
발행연도
2007.1
수록면
760 - 763 (4page)

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The properties of carbon nanotube obtained by thermal chemical vapor deposition (CVD) process were investigated as a function of ammonia $(NH_3)$ gas in hydrocarbon gas, Fe catalyst thickness, and growth temperature. Fe catalyst was prepared by DC magnetron sputter and pre-treated with ammonia gas. CNTs were then grown with ammonia-acetylene gas mixture by thermal CVD. The diameter of these CNTs shows a strong correlation with the gas rate, the catalyst film thickness and temperature. From our results, it was found that the factors of grown CNTs positively acted to improve CNT quality.

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