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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
박정훈 (부산대학교 전자공학학부) 손필국 (부산대학교 전자공학학부) 김기범 (부산대학교 물리학부) 박혁규 (부산대학교 물리학부)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제18권 제10호
발행연도
2008.1
수록면
521 - 528 (8page)

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We present the structural, optical, and electrical properties of amorphous silicon suboxide (a-$SiO_x$) films grown on indium tin oxide glass substrates with a radio frequency magnetron technique from a polycrystalline silicon oxide target using ambient Ar. For different substrate-target distances (d = 8 cm and 10 cm), the deposition temperature effects were systematically studied. For d = 8cm, oxygen content in a-$SiO_x$ decreased with dissociation of oxygen onto the silicon oxide matrix; temperature increased due to enlargement of kinetic energy. For d = 10 cm, however, the oxygen content had a minimum between $150^{\circ}\;and\;200^{\circ}$. Using simple optical measurements, we can predict a preferred orientation of liquid crystal molecules on a-$SiO_x$ thin film. At higher oxygen content (x > 1.6), liquid crystal molecules on an inorganic liquid crystal alignment layer of a-$SiO_x$ showed homogeneous alignment; however, in the lower case (x < 1.6), liquid crystals showed homeotropic alignment.
#silicon suboxide #a- $SiO_x$ #indium tin oxide #ITO) #RF-magnetron sputtering #alignment layer #liquid crystal display

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