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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 17 - 20 (4page)
이용수
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We fabricated a multi-layer diffraction grating inside fused silica glass by using a femtosecond laser direct writing method. The femtosecond laser with a wavelength of 515 nm, a pulse width of 250 fs, a repetition rate of 100 kHz, and an average output power of 6 W was used. Two layer diffraction grating with a grating period of $6{\mu}m$ was successfully fabricated with the layer gap of 0.5, 1, 2, 3, and $5{\mu}m$, respectively. Also, we investigated the diffraction pattern by illuminating a He-Ne laser beam. Finally, we demonstrated the diffraction grating with a grating period of $3{\mu}m$ by adjusting the gap of each layer with a grating period of $6{\mu}m$. Femtosecond laser direct writing technology of multi-layer has a potential to fabricate the diffraction grating with a grating period of below $1.5{\mu}m$.
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