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저자정보
최훈국 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실) 손익부 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실) 노영철 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실) 김진태 (조선대학교 광기술공학과 레이저응용연구실)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제15권 제2호
발행연도
2012.1
수록면
6 - 10 (5page)

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We fabricated the diffraction grating on the surface of fused silica glass using a femtosecond laser. The grooves of diffraction grating has a lot of micro crack and debris result in reduced diffraction efficiency. So, we polished the diffraction grating with $CO_2$ laser beam. With different scan number of $CO_2$ laser beam, we observed the image of diffraction grating and measured the diffraction efficiency.

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