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본 논문에서는 LTCC 다층기판으로 구현할 수동 소자를 수축공정과 무수축공정으로 구분하여 설계, 제작하고 분석하였다. 유전율 7 또는40의 두 종류 세라믹 소재를 사용하여 기본 형태의 수동소자를 다양하게 두 가지 공정으로 제작하여 특성을 비교하였다. 유전율40 기판을 사용할 때 수축공정은 X, Y 방향에서 17%, Z 방향에서 36%의 수축율을 보이는 것과 비교하여, 무수축공정은 X,Y 방향에서 변화하지 않고 Z 방향으로만 43% 수축하여 평면상에서 높은 치수 정밀도와 표면 평탄도를 얻을 수 있다. 측정 값으로 부터 매개 변수를 이용한 경험적 해석 식을 이용하여 제작한 LTCC 소자의 인덕턴스 및 커패시턴스를 추정하였으며 설계 라이브러리 형태로 구현하였다. 유전율과 제작 공정에 따라 인덕터의 권선수와 단위 면적에 따른 커패시턴스를 측정하여 권선수 및 단위면적에 따른 소자값을 예측할 수 있는 다항식을 제시하였다.
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W. Blood / 2000 / Library development process for embedded capacitors in LTCC / IEEE 9th Topical Meeting on Electrical Performance of Electronic Packaging :147~150
A. Sutono / 1999 / RF/ microwave characterization of multilayer ceramic-based MCM technology / IEEE Transactions on Advanced Packaging 22(3):326~331
K. Chen / 2008 / A novel compact balanced- to- unbalanced low-temperature co-fired ceramic bandpass filter with three coupled lines configuration / IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 56(7):1714~1720
J. Sieiro / 2012 / Synthesis of compact planar inductors in LTCC technology / 2012 International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD) :45
M. Nicák / 2012 / Zero shrink LTCC 3D structure interconnections / 2012 35th International Spring Seminar on Electronics Technology :128~132
A. Sutono / 1999 / RF/ microwave characterization of multilayer ceramic-based MCM technology / IEEE Transactions on Advanced Packaging 22(3):326~331
K. Chen / 2008 / A novel compact balanced- to- unbalanced low-temperature co-fired ceramic bandpass filter with three coupled lines configuration / IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques 56(7):1714~1720
J. Sieiro / 2012 / Synthesis of compact planar inductors in LTCC technology / 2012 International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD) :45
M. Nicák / 2012 / Zero shrink LTCC 3D structure interconnections / 2012 35th International Spring Seminar on Electronics Technology :128~132
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