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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이응기 (공주대학교 기계자동차공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제8권 제4호
발행연도
2009.1
수록면
37 - 42 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2010

유기EL 증착 공정의 3차원 시뮬레이션 및 최적화
이응기 ,  전성훈 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2010.04 학술대회자료

2009

유기EL 증착 공정에 대한 3차원 Monte Carlo 해석
이응기 반도체및디스플레이장비학회지 2009.01 학술저널

초록· 키워드

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The performance of an OLED(organic luminescent emitting device) fabrication system strongly depends on the design of the evaporation cell-source. Trends in display sizes have hauled the enlargement of mother glass substrates. The enlargement of substrates requires the improvement and the enlargement of the effusion cell-source for OLED evaporation process. The deposited layers should be as uniform as possible, and therefore it is important to know the effusion profile of the molecules emitted from the cell-source. Conventional 2D DSMC algorithm cannot be used for simulating the new concept cell-source design, such as a linear source. This work concerns the development of 3D DSMC (direct simulation Monte Carlo) analysis for simulating the behavior of the evaporation cell-sources. In this paper, the 3D DSMC algorithm was developed and the film thickness profiles were obtained by the numerical analysis.
#Evaporation #Rarefied gas #OLED #organic luminescent emitting device) #DSMC #direct simulation Monte Carlo) #CSG #constructive solid geometry)

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