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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
32 - 35 (4page)

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2006

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이응기 반도체및디스플레이장비학회지 2006.01 학술저널

2004

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유기EL 증착 공정을 위한 박막 형상 모델링
이응기 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

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For the OLED evaporation process, thin film thickness uniformity is of great practical importance. In order to achieve the better thickness uniformity, geometric simulation of film thickness distribution profile is required. In this paper, a geometric modeling algorithm is introduced for process simulation of full-color OLED evaporating system. The physical fact of the evaporation process is modeled mathematically. Based on the developed method, the uniformity of the organic layer thickness can be successfully controlled.
#OLED(유기EL) #Evaporation(증착) #Thin Film(박막) #Geometric Modeling(형상 모델링)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 증발원 방사 모델
3. 박막 두께 모델링
4. 결론
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