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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김경범 (국립 충주대학교 항공기계설계학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제9권 제4호
발행연도
2010.1
수록면
31 - 37 (7page)

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In this paper, optical deflection of laser scattering has been investigated based on Rayleigh criterion for crystalline silicon wafer in solar cell. A laser scattering mechanism is newly designed using light scattering properties in silicon wafer. Intensity distributions of laser scattering are different, depending on the incident angle of laser computed from Rayleigh criterion. In case of the incident angle satisfied with the criterion, they are asymmetric. Also, their specular reflection angle is shifted to unpredicted ones. These phenomena are in accordance with previous theories of laser scattering. The optical deflection of laser scattering is experimentally identified with the designed laser scattering mechanism. Its mathematical model is presented from the geometric relationship of laser scattering. It is shown that the optical deflection of laser scattering agree with the presented model, exclusive of grazing angles which is satisfied with Rayleigh criterion.
#Crystalline silicon wafer #Laser scattering #Optical deflection #Rayleigh criterion #Solar cell

목차

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Lee,J.H / 2008 / Current Status and Future Prospects of Solar Cell / KSPE 25(10):7~22 google schola Byelyayev, A / 2005 / Stress Diagnostics and Crack Detection in Full-size Silicon Wafers using Resonance Ultrasonic Vibrations google schola Takami,K / 1997 / Defect Inspection of Wafers by Laser Scattering / Materials Science & Engineering 44:181~187 google schola Chang, C. Y / 2009 / An Supervised Neural Network Approach for Automatic Semiconductor Wafer Defect Inspection / Expert Systems with Applications 36:950~958 google schola 홍연기 / 2010 / 레이저 산란 영상을 이용한 표면거칠기의 실험적 규명에 관한 연구 / 대한기계학회논문집 A 34(1):35~41 dbpia

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