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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
안병인 (충주대학교) 연정승 (충주대학교) 김경범 (충주대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집
발행연도
2010.6
수록면
364 - 371 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2011

태양전지용 실리콘 웨이퍼를 위한 구조적 조명메커니즘의 매개변수 선정에 관한 연구
안병인 ,  김경범 대한기계학회 춘추학술대회 2011.05 학술대회자료

2010

태양전지용 실리콘 웨이퍼 표면에서 레이저산란의 광편향 규명에 관한 연구
안병인 ,  김경범 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2010.11 학술대회자료
태양전지용 실리콘 웨이퍼를 위한 레이저산란 검사 메커니즘 설계 및 실험계획법 기반 레이저산란 매개변수의 선정
안병인 ,  연정승 ,  김경범 대한기계학회 춘추학술대회 2010.06 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 태양전지용 실리콘 웨이퍼 표면을 검사하기 위하여 레이저산란 메커니즘을 기반으로 매개변수를 선정하고, 레이저산란 패턴을 분석하였다. 우선, 광산란 속성과 영향인자를 조사하여 매개변수를 분석하고, 제어 가능한 주요인자의 상관관계를 고려하여 단일 암시야 레이저산란 검사 메커니즘을 설계하였다. 이를 기반으로 마이크로 결함이 있는 웨이퍼 표면과 없는 표면에서 실험을 수행한 결과 결함 표면에서 약 37%정도 산란광 성분이 증가함을 보였다. 또한 다양한 형태의 마이크로 결함에 대한 강건하고 고품질의 레이저산란 영상을 얻기 위해 실험계획법을 적용하여 매개변수들의 최적조건을 선정하였다. 선정된 매개변수들을 적용하여 레이저산란 패턴을 분석한 결과 결함의 크기가 커지면서 산란광 성분이 선형적으로 증가하였고, 결함의 깊이가 광편향에 지배적인 영향을 미치는 것을 확인하였다.
#Silicon Wafer(실리콘 웨이퍼) #Solar Cell(태양전지) #Laser Scattering(레이저산란)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 광산란 속성
3. 레이저산란 검사 메커니즘
4. 레이저산란 매개변수의 최적조건
5. 결론
후기
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