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학술저널
저자정보
김상모 (가천대 전기공학과) 이상민 (가천대 전자공학과) 금민종 (주성 엔지니어링) 이원재 (가천대 전자공학과) 김경환 (가천대 전기공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제17권 제2호
발행연도
2018.1
수록면
71 - 75 (5page)

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In this study, we prepared OLED cell with ITO (Indium Tin Oxide) films grown on the glass substrate by facing targets sputtering. Before fabrication of OLED cells, we investigated properties of ITO films deposited at various sputtering conditions. To investigate properties of as-prepared films, we employed four-point probe, UV-VIS spectrometer, X-ray diffractometer (XRD), field emission scanning electron microscopy (FE-SEM), hall-effect measurement. As a results, as-prepared ITO films have high transmittance of over 85 % in the visible range (300-800 nm) and a resistivity of under $10^{-4}$ (${\Omega}-cm$). Their resistivity increased as a function of oxygen gas flow and substrate temperature. OLED cell with ITO films were fabricated by thermal evpoeartor. Properties of OLEDs cell referring to properties of ITO films.
#FTS #ITO #OLED

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참고문헌 (14)

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S. T. Yu / 2014 / Effect of ITO Surface Modification on the OLED Device Lifetime 30:7369~7376 google schola P. C. Gregory / 2005 / Flexible flat panel displays / John Wiley & Sons google schola S. I. Kim / 2015 / Flexible OLED fabrication with ITO thin film on polymer substrate / Japanese Journal of Applied Physics 54:090301 google schola H. Hosono / 2002 / Frontier of transparent conductive oxide thin films / Vacuum 66:419~425 google schola T. Minami / 2008 / Present status of transparent conducting oxide thin-film development for Indium-Tin-Oxide (ITO) substitutes / Thin Solid Films 516(17):5822~5828 google schola

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