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자료유형
학술저널
저자정보
Kim, Hyung-Taek (Department of Advanced Materials Engineering, College of Engineering, Incheon National University) Cho, Han-Ho (Department of Advanced Materials Engineering, College of Engineering, Incheon National University)
저널정보
한국인터넷방송통신학회 International journal of internet, broadcasting and communication : IJIBC International journal of internet, broadcasting and communication : IJIBC 제7권 제2호
발행연도
2015.1
수록면
28 - 35 (8page)

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Thin film electronic devices which brought the current mobile environment could be fabricated only under the high quality vacuum conditions provided by high vacuum systems. Especially for the development of advanced thin film devices, constant high quality vacuum as the deposition pressure is definitely needed. For this purpose, the variable conductance throttle valves were employed to the high vacuum system. In this study, the effects of throttle valve applications on vacuum characteristics were simulated to obtain the optimum design modelling of variable conductance of high vacuum system. Commercial simulator of vacuum system, $VacSim^{(multi)}$, was used on this investigation. Reliability of employed simulator was verified by the simulation of the commercially available models of high vacuum system. Simulated vacuum characteristics of the proposed modelling were agreed with the observed experimental behaviour of real systems. Pressure limit valve and normally on-off control valve were schematized as the modelling of throttle valve for the constant process-pressure of below $10^{-3}torr$. Simulation results were plotted as pump down curve of chamber, variable valve conductance and conductance logic of throttle valve. Simulated behaviors showed the applications of throttle valve sustained the process-pressure constantly, stably, and reliably.
#Vacuum system #Throttle valve #Variable conductance #Vacuum simulation

목차

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참고문헌 (5)

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Hyung-Taek Kim / 2012 / Simulation of Vacuum Characteristics by Applications of Vacuum Valve in Display Processing / The journal of The Institute of Webcasting, Internet and Telecommunication 12(2):77~83 Crossref 와킬 칸 / 2009 / A Study of Non-uniform Pressure Distribution in Vacuum Chamber during Dynamic Gas Flow / 한국진공학회지 18(6):403~410 google schola 김형택 / 2013 / Analysis of High Vacuum System Based on the Applications of Vacuum Materials / Transactions on Electrical and Electronic Materials 14(6):334~338 dbpia Hyung-Taek Kim / 2007 / Simulation of Effects of Turbo Molecular Pump Structure and Back-up Pump on Vacuum Characteristics / The Journal of The collection of dissertations of Science and engineering by Univ. of Incheon 22 google schola User’s Guide of VacSim(Multi) Simulator (manual) / Technology Sources Ltd. google schola

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