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학술저널
저자정보
Rim, Kyung-Hwa (KUT School of Mechatronics) Yang, Xun (KUT Graduate School) An, Chae-Hun (KUT Graduate School) Jin, Kyoung-Bog (KUT School of Mechatronics)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제6권 제4호
발행연도
2007.1
수록면
17 - 22 (6page)

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Vibration isolation equipments are mostly required in precise measurement and manufacturing system. Among all the vibration isolation equipments, air-spring is the most widely used equipment because of low resonant frequency and high damping ratio. In this study, we used Takagi-Sugeno fuzzy method to design an active vibration isolation system using air-spring, and compared the fuzzy method with passive control method and PID control method. Due to the non-linearity characteristics of air-spring, fuzzy controller was verified to be the most effective both in simulation and experiment.
#Active Vibration Isolation System #Air-spring #Fuzzy Logic Control #Takagi-Sugeno Method #PID Control

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