탄화규소 플라즈마 연마 기술 개발

최용섭; 이강일; 장수욱

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최용섭 (국가핵융합연구소) 이강일 (국가핵융합연구소) 장수욱 (국가핵융합연구소)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2018.10

수록면: 598 - 598 (1page)

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