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자료유형
학술대회자료
저자정보
주정훈 (군산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
31 - 31 (1page)

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SiH<SUB>4</SUB>+O<SUB>2</SUB> 가스의 조합을 사용하는 SiO<SUB>2</SUB> 증착용 PECVD 장치에 사용될 루츠타입 드라이펌프는 일정량의 SiO<SUB>2</SUB> 입자 생성 가능성을 고려하여 설계하여야 한다. 로터 사이 간극이 0.2mm, 로터 - 하우징 간극 0.15mm 수준이며 약간의 열팽창을 고려하여 로터와 하우징의 규격을 결정하지만, ... 전체 초록 보기
#Roots dry pump #SiO₂ particle generation #rotor #stator #connecting volume

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