메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
최다은 (제주대학교) 이용희 (한국전자산업협회) 최수석 (제주대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
95 - 95 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
HFCVD은 다이아몬드 박막의 제조를 위해 널리 사용되는 기술이다. 아직까지 다이아몬드 박막 합성원리는 명확히 규명되지 않았지만, HFCVD 공정에서의 온도분포는 고품질의 박막 제조를 위한 중요한 조건이다. 전산해석에서는 상용 CFD 코드인 ANSYS-FLUENT를 사용하여 복사열전달을 고려한 해석을 진행하였 ... 전체 초록 보기
#Hot filament CVD #Radiative heat transfer #ANSYS-FLUENT #Two color pyrometry

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문과 함께 이용한 논문

유한 요소 해석을 기반한 자동차 탑재용 견인고리의 경량화
김성훈 ,  이충연 ,  조병훈 대한기계학회 춘추학술대회 2018 .12
전산유동가시화를 활용한 웨이퍼 이송장치의 복사열전달에 관한 연구
추민기 ,  정지홍 ,  손동기 외 1명 한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집 2022 .12

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0