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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.6
- 수록면
- 28 - 29 (2page)
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This paper addresses the problem of image-based mask screening in automated optical inspection systems. The image-based mask screening requires various image processing algorithms. Especially, the selection of edge detection and preprocessing methods is highly important because the performance of Pearson correlation coefficient which is the metric for the final decision depends on the ... 전체 초록 보기
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